微机电与光刻技术
该系列产品以半导体芯片和传感器制造为核心，研发生产集设计、测试、喷镀等一体化的整套解决方案，可用于功率电子器件、传感器、光电子器件、微波电路及其他新型电子元器件的单、双面对准及曝光工艺，对于半导体设备的研发设计制造提供有力支持。
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